兩探針直流電阻率測(cè)試儀 FT-300TZ 棒狀半導(dǎo)體材料電阻電導(dǎo)率檢測(cè)裝置
發(fā)布時(shí)間： 2026-06-28 11:41:12 點(diǎn)擊： 49
1. 產(chǎn)品介紹
ROOKO 瑞柯微 FT-300TZ 兩探針電阻率測(cè)試儀由寧波瑞柯析理儀器經(jīng)銷(xiāo)，專(zhuān)為棒狀半導(dǎo)體材料縱向電學(xué)性能檢測(cè)打造，遵循 GB/T 1551-2021、SEMI MF 397-1106 標(biāo)準(zhǔn)兩探針測(cè)試規(guī)范。
設(shè)備搭配鎢探針測(cè)量平臺(tái)，針對(duì)長(zhǎng)徑比不小于 3:1 圓形、方形、矩形硅單晶棒完成電阻、電阻率、電導(dǎo)率采集；支持自動(dòng)正負(fù)電流 / 電壓換向測(cè)量，內(nèi)置溫度補(bǔ)償運(yùn)算程序，液晶面板同步展示全套電學(xué)參數(shù)，選配 PC 分析程序可完成數(shù)據(jù)留存、報(bào)表導(dǎo)出，適配光伏拉晶車(chē)間、半導(dǎo)體材料工廠(chǎng)、高校新材料實(shí)驗(yàn)室、合作檢測(cè)機(jī)構(gòu)物性試驗(yàn)。
2. 產(chǎn)品特點(diǎn)
- 兩探針檢測(cè)架構(gòu)，適配長(zhǎng)棒狀硅芯、硅錠縱向電阻率檢測(cè)，弱化邊緣測(cè)試帶來(lái)的數(shù)據(jù)偏差
- 自動(dòng)切換正向、反向電流與電壓回路，抵消熱電勢(shì)帶來(lái)數(shù)值偏移，數(shù)據(jù)穩(wěn)定
- 內(nèi)置溫度補(bǔ)償換算程序，適配 23℃標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試環(huán)境，無(wú)需人工換算修正參數(shù)
- 一體化鎢探針測(cè)試平臺(tái)，探針游移誤差可控，接觸點(diǎn)位統(tǒng)一，復(fù)測(cè)一致性?xún)?yōu)良
- 探針絕緣規(guī)格充足，探針間絕緣電阻大于 10?歐，規(guī)避漏電流干擾測(cè)量結(jié)果
- 多檔位直流恒流輸出，微安至安級(jí)電流覆蓋低阻至高阻半導(dǎo)體材料測(cè)量區(qū)間
- 液晶大屏同步顯示電阻、電阻率、電導(dǎo)率、溫度、試樣尺寸、電流電壓全套數(shù)據(jù)
- 探針間距、硅棒夾持尺寸均可按需定制，適配多規(guī)格硅芯、檢驗(yàn)棒
- 選配中英文 PC 數(shù)據(jù)分析程序，自動(dòng)記錄全過(guò)程數(shù)據(jù)，生成可導(dǎo)出測(cè)試報(bào)表
- 整機(jī) 220V 常規(guī)供電，結(jié)構(gòu)緊湊，實(shí)驗(yàn)室、產(chǎn)線(xiàn)工位均可放置使用
3. 工作原理
FT-300TZ 依據(jù)國(guó)標(biāo)與 SEMI 兩探針測(cè)試規(guī)范設(shè)計(jì)，將兩根鎢探針垂直壓合于均勻棒狀半導(dǎo)體試樣表面，主機(jī)輸出可控恒定直流電流，采集探針之間微小電壓信號(hào)；設(shè)備錄入試樣截面尺寸、長(zhǎng)度參數(shù)，內(nèi)置運(yùn)算單元依據(jù)兩探針?lè)ㄓ?jì)算公式自動(dòng)換算試樣縱向電阻、體積電阻率、電導(dǎo)率。
設(shè)備自動(dòng)輪換正負(fù)測(cè)試回路取均值，降低珀?duì)柼⑷惪烁毙?yīng)影響；同步采集環(huán)境溫度，調(diào)用半導(dǎo)體溫度系數(shù)完成標(biāo)準(zhǔn)化換算；選配電腦端程序?qū)崟r(shí)同步存儲(chǔ)測(cè)量數(shù)據(jù)，形成完整測(cè)試記錄，用于材料均勻度分析與出廠(chǎng)質(zhì)檢歸檔。
4. 技術(shù)參數(shù)（表格）
| 參數(shù)項(xiàng)目 | 詳細(xì)規(guī)格 |
|---|---|
| 電阻率測(cè)量范圍 | 10??～2×10? Ω·cm |
| 電阻量程 | 10??～2×10? Ω |
| 電導(dǎo)率區(qū)間 | 5×10??～10? S/cm |
| 電阻分辨率 | 0.1μΩ，測(cè)量誤差 ±（0.05% 讀數(shù) ±5 字） |
| 電壓測(cè)量檔位 | 2mV/20mV/200mV/2V；分辨率 0.1μV~100μV，精度 ±0.1% 讀數(shù) |
| 直流輸出電流 | 0~1000mA 連續(xù)可調(diào)；檔位 0.1μA/1μA/10μA/100μA/1mA/10mA/1000mA，誤差 ±0.2% 讀數(shù) ±2 字 |
| 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試溫度 | 23℃±1℃ |
| 主機(jī)供電 | AC220V±10%，50/60Hz |
| 標(biāo)配探針平臺(tái)參數(shù) |
1. 適配硅棒直徑 4~22mm（可定制）
|
| 適配試樣條件 | 橫截面積均勻圓形 / 方形 / 矩形硅單晶，長(zhǎng)度與截面尺寸比值≥3:1 |
| 配套通用標(biāo)準(zhǔn) | GB/T 1551-2021，SEMI MF 397-1106 |
| 顯示內(nèi)容 | 電阻、電阻率、電導(dǎo)率、溫度、截面尺寸、電流、電壓、單位自動(dòng)換算 |
5. 適用范圍
- 光伏行業(yè)：?jiǎn)尉Ч璋簟⒐栊尽z驗(yàn)硼棒 / 磷棒縱向電阻率出廠(chǎng)抽檢、拉晶工藝管控
- 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)：硅單晶錠、長(zhǎng)條半導(dǎo)體基體材料電學(xué)均勻度檢測(cè)
- 新材料實(shí)驗(yàn)室：高校、科研院所棒狀半導(dǎo)體材料導(dǎo)電特性課題試驗(yàn)
- 合作檢測(cè)機(jī)構(gòu)：執(zhí)行國(guó)標(biāo)、SEMI 標(biāo)準(zhǔn)硅材料型式檢驗(yàn)、來(lái)料檢測(cè)
- 適配試樣形態(tài)：長(zhǎng)徑比≥3:1 圓形、方形、矩形均勻半導(dǎo)體棒材，可定制夾具適配異型長(zhǎng)條導(dǎo)電試樣
6. 操作流程（簡(jiǎn)潔）
- 儀器接通 220V 電源，開(kāi)機(jī)靜置至設(shè)備達(dá)到 23℃標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試環(huán)境；
- 將硅棒試樣平穩(wěn)放置于兩探針測(cè)試平臺(tái)，調(diào)整夾持位置使探針垂直貼合試樣表面；
- 在顯示界面錄入試樣直徑 / 截面尺寸、長(zhǎng)度參數(shù)；
- 選定適配測(cè)試電流檔位，啟動(dòng)自動(dòng)測(cè)量；
- 設(shè)備自動(dòng)正負(fù)換向采集數(shù)據(jù)，屏幕同步讀取電阻、電阻率、電導(dǎo)率；
- 選配 PC 軟件同步留存數(shù)據(jù)，測(cè)試完成導(dǎo)出、打印試驗(yàn)報(bào)表；
- 測(cè)量完成抬起探針，取下試樣，關(guān)閉設(shè)備電源并清潔探針平臺(tái)。
7. 配套服務(wù)項(xiàng)目（簡(jiǎn)潔）
- 售后服務(wù)：線(xiàn)上遠(yuǎn)程技術(shù)調(diào)試，故障無(wú)法遠(yuǎn)程處理時(shí)提供到場(chǎng)檢修服務(wù)
- 延保服務(wù)：可選購(gòu) 1 至 3 年整機(jī)延保周期，降低后期維護(hù)支出
- 樣品測(cè)試：寄送硅棒待測(cè)樣品至實(shí)驗(yàn)室，提供檢測(cè)配套服務(wù)并出具計(jì)量證書(shū)
- 增值配套：儀器定期計(jì)量校準(zhǔn)、探針 / 平臺(tái)尺寸個(gè)性化定制、耗材補(bǔ)給、設(shè)備技術(shù)升級(jí)
8. 包裝選配配件（表格）
| 序號(hào) | 配件名稱(chēng) | 單位 | 配置類(lèi)型 | 備注 |
|1|PC 數(shù)據(jù)分析軟件 | 套 | 選購(gòu) | 中英文雙語(yǔ)，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)報(bào)表導(dǎo)出 |
|2 | 標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻 | 個(gè) | 選購(gòu) | 1-5 個(gè)按需搭配，儀器校驗(yàn)使用 |
|3 | 電腦 + 打印設(shè)備 | 套 | 選購(gòu) | 配套軟件數(shù)據(jù)輸出 |
|4 | 定制鎢探針組件 | 組 | 選購(gòu) | 適配 1300℃高溫工況可定制 |
|5 | 大尺寸硅棒平臺(tái) | 套 | 選購(gòu) | 直徑大于 22mm 硅棒適配 |
|6 | 整機(jī)延保服務(wù) | 年 | 選購(gòu) | 可選 1/2/3 年周期 |
|7 | 儀器計(jì)量檢測(cè)服務(wù) | 份 | 選購(gòu) | 出具正規(guī)計(jì)量證書(shū) |
9. 售后服務(wù)（簡(jiǎn)潔）
- 整機(jī)出廠(chǎng)配置基礎(chǔ)質(zhì)保周期，質(zhì)保周期內(nèi)非人為損壞零部件、基礎(chǔ)檢修無(wú)額外耗材支出；
- 技術(shù)團(tuán)隊(duì)全程線(xiàn)上調(diào)試指導(dǎo)，故障無(wú)法遠(yuǎn)程處置可安排到場(chǎng)檢修；
- 儀器過(guò)保后可選購(gòu)延保服務(wù)，延長(zhǎng)整機(jī)保修時(shí)長(zhǎng)；
- 長(zhǎng)期供給鎢探針、測(cè)試線(xiàn)、標(biāo)準(zhǔn)電阻等配套耗材；
- 可預(yù)約儀器定期計(jì)量校準(zhǔn)，保障測(cè)量數(shù)值合規(guī)穩(wěn)定。
10. FAQ 常見(jiàn)問(wèn)題
Q1：FT-300TZ 能否測(cè)量短硅片、方形薄片？
A1：設(shè)備針對(duì)長(zhǎng)棒試樣設(shè)計(jì)，試樣長(zhǎng)徑比需≥3:1；薄片、方形短試樣可選用 FT-331 四探針系列設(shè)備。
Q2：探針間距、硅棒直徑可以后期調(diào)整嗎？
A2：可增購(gòu)定制探針組件與加寬測(cè)試平臺(tái)，適配不同規(guī)格硅芯、硅錠檢測(cè)需求。
Q3：無(wú)電腦能否完成檢測(cè)？
A3：無(wú)電腦可依靠液晶屏讀取實(shí)時(shí)電阻率、電導(dǎo)率數(shù)值，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、報(bào)表打印功能需搭配 PC 軟件。
Q4：測(cè)試數(shù)值波動(dòng)偏大如何處理？
A4：檢查探針是否磨損、硅棒表面是否氧化，同時(shí)更換標(biāo)準(zhǔn)電阻完成整機(jī)校準(zhǔn)。
Q5：設(shè)備是否滿(mǎn)足光伏行業(yè)進(jìn)廠(chǎng)質(zhì)檢標(biāo)準(zhǔn)？
A5：設(shè)備完全匹配 GB/T 1551、SEMI MF397 兩探針檢測(cè)規(guī)范，可用于產(chǎn)線(xiàn)日常抽檢與型式試驗(yàn)。
11. 關(guān)聯(lián)產(chǎn)品（簡(jiǎn)潔）
- FT-351 高溫四探針測(cè)試儀：半導(dǎo)體晶片高溫方阻、電阻率高溫檢測(cè)設(shè)備
- FT-300B 電線(xiàn)電纜電阻率測(cè)試儀：銅鋁線(xiàn)材導(dǎo)體直流電阻檢測(cè)儀器
- FT-331 全自動(dòng)四探針測(cè)試儀：硅片、薄膜方塊電阻常溫測(cè)量設(shè)備
- FT-8600 粉末電阻率測(cè)試儀：半導(dǎo)體粉體常溫導(dǎo)電性能分析儀
- LX-9831 電壓降測(cè)試儀：線(xiàn)束端子溫升壓降綜合檢測(cè)設(shè)備
